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  • 这款CVD系统集真空管式爐,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计天天色情(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD管式爐

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